特許
J-GLOBAL ID：202103013824250834
液体窒素供給システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉澤 敬夫
, 新井 全
, 野口 和孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-188703
公開番号（公開出願番号）：特開2018-051454
特許番号：特許第6968525号
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 気体窒素を供給する窒素供給部と、
前記窒素供給部から供給される気体窒素、または液体窒素を導く供給ラインと、
前記供給ラインにおける前記窒素供給部の下流側に設けられ前記窒素供給部から供給された前記気体窒素を除菌する除菌フィルタ装置と、
前記供給ラインにおける前記除菌フィルタ装置の下流側に設けられ、前記除菌フィルタ装置により除菌された前記気体窒素の供給を制御する制御弁と、
前記供給ラインにおける前記制御弁の下流側に設けられ前記除菌フィルタ装置により除菌された前記気体窒素を液化させて前記液体窒素を生成する液化装置と、
前記供給ラインにおける前記液化装置の下流側に設けられ前記液化装置から供給された前記液体窒素の使用点として前記液体窒素を保存する凍結保存容器と、
前記凍結保存容器に設けられ前記凍結保存容器の内部に保存された前記液体窒素の液面高さを検知する液面検知部と、
前記液面検知部により検知された前記液面高さが所定値範囲内になるように、前記制御弁を制御し、前記液化装置により生成された前記液体窒素を前記凍結保存容器に補給する制御を実行する制御装置と、
を備え、前記液化装置と前記凍結保存容器との間の前記供給ラインに侵入する熱により気化する前記液体窒素の量は、前記凍結保存容器における前記液体窒素の消費量よりも少ないことを特徴とする液体窒素供給システム。
IPC (3件)：
B01J 4/00 ( 200 6.01)
, F17C 7/02 ( 200 6.01)
, A61J 3/00 ( 200 6.01)
B01J 4/00 103
, F17C 7/02
, A61J 3/00 301
