特許
J-GLOBAL ID：202103014554802402
インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高岡 亮一
, 小田 直
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-207765
公開番号（公開出願番号）：特開2018-073862
特許番号：特許第6866106号
出願日： 2016年10月24日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 型に形成された型側パターンと、基板に形成された基板側パターン上に供給された未硬化のインプリント材と、を接触させて前記基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型側パターンと前記基板側パターンとの形状差に関する情報を得る計測部と、
前記基板側パターンを加熱して変形させる加熱変形部と、
前記型側パターンと前記インプリント材とが接触するように前記型と前記基板との距離を調整する駆動機構と、
前記計測部と前記加熱変形部と前記駆動機構とを制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記駆動機構によって前記距離を、前記型側パターンが前記インプリント材と接触する接触距離よりも長い第1距離に調整した状態で、前記計測部で前記形状差に関する前記情報を取得し、
前記駆動機構によって前記距離を前記第1距離に調整した状態で、前記計測部が得た前記情報に基づいて、前記形状差を少なくするように前記加熱変形部でパターンを変形させ、
前記基板側パターンの変形が完了している状態、かつ、前記型側パターンと前記基板側パターンとの間の温度差が所定の値以下となるように前記型側パターンの温度が上昇した時点で、前記駆動機構により前記距離が前記第1距離から前記接触距離に調整される、ように制御し、
さらに、前記制御部は、前記温度差を、予め設定された前記型側パターンと前記基板側パターンとの位置関係に基づいて得られた前記距離から求めることを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 Z
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
