特許
J-GLOBAL ID：201303050744526367
インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033219
公開番号（公開出願番号）：特開2013-225661
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：
【課題】モールドとウエハ上の樹脂との押し付け時に、モールドとウエハとの間の隙間空間に供給される気体の濃度の適切性を判断するのに有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】インプリント装置1は、基板10上の樹脂11と型9のパターン部9aとを接触させた状態で樹脂11を硬化させて、基板10上に樹脂11のパターンを形成する。型9と基板10との間の空間に気体17を供給する気体供給部6と、空間または空間と連通する空間を計測光が通過するように構成され、当該計測光を用いて所定の2つの物体間の距離を計測する計測部7と、所定の距離に関する情報を取得し、当該情報と気体供給部6から気体17が供給された状態での計測部7の計測結果とに基づいて、空間における気体17の濃度の状態を表す信号を出力する制御部8とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上の樹脂と型のパターン部とを接触させた状態で前記樹脂を硬化させて、前記基板上に樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型と前記基板との間の空間に気体を供給する気体供給部と、
前記空間または前記空間と連通する空間を計測光が通過するように構成され、当該計測光を用いて所定の2つの物体間の距離を計測する計測部と、
前記所定の距離に関する情報を取得し、当該情報と前記気体供給部から前記気体が供給された状態での前記計測部の計測結果とに基づいて、前記空間における前記気体の濃度の状態を表す信号を出力する制御部と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/00 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AJ06
, 4F209AP11
, 4F209AR15
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ20
, 5F146AA31
, 5F146DA27
, 5F146DB08
, 5F146DB10
, 5F146DB14
, 5F146DC10
