特許

J-GLOBAL ID：202103017792580336

プローブ、プローブユニットおよびプローブカード、並びに、それらの製造方法

発明者： 福島 誉史 ,  小柳 光正 ,  ▲べ▼ 志哲 ,  佐久山 真一
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学 ,  株式会社東京精密
代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-165074
公開番号（公開出願番号）：特開2021-043054
出願日： 2019年09月11日
公開日（公表日）： 2021年03月18日
要約：

【課題】先端およびピッチがより小さく、検査時のプローブ痕を小さくすることができ、比較的安価に製造可能なプローブ、プローブユニットおよびプローブカード、並びに、それらの製造方法を提供する。【解決手段】プローブ11は、複数から成り、それぞれ細長く、先端の径が10μm以下であり、根元から先端までの突出長さが5μm乃至20μmである。また、各プローブ11は、長さ方向に対して垂直な面に、1.5μm乃至50μmのピッチで並べて配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体ウエハやチップの検査に使用されるプローブであって、 複数から成り、それぞれ細長く、先端の径が10μm以下であり、根元から前記先端までの突出長さが5μm乃至20μmであり、長さ方向に対して垂直な面に、1.5μm乃至50μmのピッチで並べて配置されていることを 特徴とするプローブ。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R1/073 E ,  G01R31/26 J ,  G01R31/28 K ,  H01L21/66 B

Fターム (10件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AH05 ,  2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AL03 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プローブカード、およびその製造方法。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-024117   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• プローブ及びプローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-278474   出願人：日本電子材料株式会社
• 接続装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-026895   出願人：株式会社日立製作所
• プローブおよびこれを備えたセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-152654   出願人：石田誠, 旭化成工業株式会社