特許
J-GLOBAL ID：202103018491850628
レジスト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-155637
公開番号（公開出願番号）：特開2017-045046
特許番号：特許第6795927号
出願日： 2016年08月08日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂(A1)と、
式(I)で表される構造単位を含み、酸不安定基を有する構造単位を含まない樹脂(A2)と、
酸発生剤と、
式(D)で表される弱酸分子内塩とを含有するレジスト組成物。
[式(I)中、
Rt1は、水素原子又はメチル基を表す。
At1は、炭素数1〜6のアルカントリイル基を表す。
Xt1及びXt1’は、互いに独立に、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
Rt2及びRt2’は、互いに独立に、フッ素原子を有する炭素数1〜10の炭化水素基又は式(t)で表される基を表す。]
[式(t)中、
At46は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1〜18の脂肪族炭化水素基を表す。
Xt44は、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
At47は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1〜17の脂肪族炭化水素基を表す。
ただし、At46及びAt47のうち、少なくとも一方は、少なくとも1つのフッ素原子を有する。
*は基Xt1及びXt1’との結合手を表す。]
[式(D)中、
RD1及びRD2は、互いに独立に、炭素数1〜12の1価の炭化水素基、炭素数1〜6のアルコキシ基、炭素数2〜7のアシル基、炭素数2〜7のアシルオキシ基、炭素数2〜7のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
m’及びn’は、互いに独立に、0〜4の整数を表し、m’が2以上の場合、複数のRD1は同一であっても異なってもよく、n’が2以上の場合、複数のRD2は同一であっても異なってもよい。]
IPC (3件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08F 220/26 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, C08F 220/26
