特許
J-GLOBAL ID：202103020021026494

電気的接続装置

発明者：
上林 雅朝

上林 雅朝 について

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赤平 明久

赤平 明久 について

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久我 智昭

久我 智昭 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (3件)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  松永 宣行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-147102
公開番号（公開出願番号）：特開2018-017575
特許番号：特許第6855185号
出願日： 2016年07月27日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 先端部が被検査体に押圧される複数のプローブと、 前記複数のプローブの基端部に接続されるプローブ基板と、 前記複数のプローブの先端部が前記被検査体に押圧されたときに、前記複数のプローブの隣接するプローブ同士の干渉を防止するプローブ支持体と、を備える電気的接続装置であって、 前記プローブ支持体は、前記プローブ基板の下方に配置され、前記複数のプローブが挿通される複数のガイド穴を有する板状のガイド部を備え、 前記ガイド部は、上方ガイド部と、下方ガイド部と、前記上方ガイド部と前記下方ガイド部との間に配置される中間ガイド部とを含み、 前記上方ガイド部は複数の上方ガイド穴を有し、前記中間ガイド部は複数の中間ガイド穴を有し、及び前記下方ガイド部は複数の下方ガイド穴を有し、 前記複数のプローブは、それぞれ前記上方ガイド穴、前記中間ガイド穴、及び前記下方ガイド穴に挿通することにより前記被検査体に向けて案内され、 前記中間ガイド部は、前記中間ガイド部の厚み方向に直交する直交方向に移動可能に設けられており、 前記上方ガイド部と前記下方ガイド部との間に、前記中間ガイド部の移動可能範囲を規定する可動室を備え、 前記可動室は、前記中間ガイド部を載置する載置面を有しており、 前記中間ガイド部が前記載置面を滑ることにより、厚み方向に直交する直交方向における前記中間ガイド穴の位置が前記下方ガイド穴の位置に合わせられるように、前記載置面は、前記下方ガイド穴に向けて傾斜する ことを特徴とする電気的接続装置。
IPC (4件)：
G01R 1/073 ( 200 6.01) ,  G01R 31/26 ( 202 0.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01R 31/28 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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