垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口朔生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-062494
公開番号（公開出願番号）：特開2015-184283
出願日： 2015年03月25日
公開日（公表日）： 2015年10月22日
要約：

【課題】プローブカードに使用される垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部を提供する。【解決手段】垂直型プローブモジュール10は、下ガイドプレート30、片状位置決め部40、複数のプローブ50および複数の柱状支持部60Aを備える。下ガイドプレートは複数の嵌合孔34および複数のプローブ装着孔22を有する。柱状支持部60Aは順に繋がるヘッド部52と、ネック部と、柱状部66と、底部68と、ヘッド部62に位置する上方当接面および柱状部66に位置する下方当接面またはいずれか一つとを有する。柱状支持部60Aは片状位置決め部40が剥がれてしまうことを抑制し、片状位置決め部40を微動させることによってプローブの損壊を抑制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下ガイドプレート、片状位置決め部、複数のプローブおよび複数の柱状支持部を備え、前記下ガイドプレートは、複数の嵌合孔および複数のプローブ装着孔を有し、前記片状位置決め部は、複数の位置限定孔および複数のプローブ装着孔を有し、前記プローブは、前記下ガイドプレートの前記プローブ装着孔および前記片状位置決め部の前記プローブ装着孔を貫通し、前記柱状支持部は、順に繋がるヘッド部と、ネック部と、柱状部と、底部と、前記ヘッド部に位置する上方当接面および前記柱状部に位置する下方当接面またはいずれか一つとを有し、少なくとも一つの前記柱状支持部は、前記上方当接面を有し、少なくとも一つの前記柱状支持部は前記下方当接面を有し、前記柱状支持部は前記ネック部が前記片状位置決め部の前記位置限定孔に差し込まれ、前記ネック部の長さが前記片状位置決め部の厚さより大きく、前記底部が前記下方ガイドプレートの前記嵌合孔に嵌め込まれ、前記片状位置決め部は、前記柱状支持部の前記上方当接面および前記下方当接面の間を移動できるように限定されることを特徴とする、垂直型プローブモジュール。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 1/067 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R1/073 E , G01R1/067 G , H01L21/66 B

Fターム (12件)：

2G003AG03 , 2G003AG04 , 2G003AH07 , 2G011AA02 , 2G011AA16 , 2G011AB01 , 2G011AB07 , 2G011AC21 , 2G011AE01 , 2G011AF07 , 4M106BA01 , 4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (7件)

垂直型プローブカード装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-192646 出願人：三菱電機株式会社
垂直型プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-241903 出願人：日本電子材料株式会社
プリント基板の検査装置およびプリント基板の検査装置の組み立てキット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-227776 出願人：株式会社アイシーティ

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