研課題
J-GLOBAL ID:202104003649858083
研究課題コード:12102486
電子顕微鏡用高品質位相板の開発
実施期間:2012 - 2013
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, 大学院工学研究院, 准教授 )
研究概要:
「生きたままの状態」の生体観察を電子顕微鏡で高コントラストに観察可能にすることを目的に、シリコンプロセスを用いた電子顕微鏡用の高品質薄膜位相板を作製した。本開発では、窒化シリコン薄膜への不純物ドープと金属薄膜コートにより導電性を向上させて、生体試料の無染色での可視化が実現できる位相板の開発に成功し、シリコンプロセスによる位相板作製の可能性を見出した。今後、更なる導電性の向上により、生物分子の無染色での3次元構造解析も可能となり、生体細胞について分子レベルの構造評価を簡易化できる技術の実現へつながり、将来にはがん細胞診断等への応用も可能となる。
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