インライン全数検査を目指す光コム干渉イメージング

体系的課題番号：JPMJTM20C6
実施期間：2020 - 2021
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工学研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM20C6
研究概要：

申請者は、これまでに2次元の奥行断層画像をシングルショットで撮像できる光計測システムを開発してきた。同手法は、2次元イメージセンサを用いてシングルショットで2次元断層画像を撮像できるうえに、光コム干渉を用いるために深さ方向の計測範囲を結像光学系で決まる限界の100倍に実質拡大できる。また、走査や演算を必要とせずに通常のカメラとは直交した断面を測定できるので、シャッタースピードをナノ秒台に高速化するとロバスト性を圧倒的に向上することが可能である。そこで、本研究課題は、これらの技術シーズを自動車、医療用部品などの量産ラインの検査に応用することを前提に、インライン全数検査が可能な検査機を開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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