特許
J-GLOBAL ID:202203003876047290

表面欠陥検出装置及び表面欠陥検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人ドライト国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-131840
公開番号(公開出願番号):特開2020-008501
特許番号:特許第7028091号
出願日: 2018年07月11日
公開日(公表日): 2020年01月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 長手方向を有する測定対象物の測定面の表面欠陥を検出する表面欠陥検出装置において、 前記測定面に線状光を照射する線状光源と、 前記線状光による前記測定面上の光切断線を、前記長手方向に沿って前記測定面を変えながら撮像し、x方向に前記光切断線が延びた複数の光切断画像を生成する撮像装置と、 複数の前記光切断画像に基づいて前記表面欠陥を検出する演算処理装置と、 を有し、 前記演算処理装置は、 前記光切断画像毎に、前記光切断線が存在しない所定画素値以下のx方向座標位置を欠値画素とし、前記欠値画素の画素値を第1所定値とした欠値画像を生成する欠値画像生成部と、 前記光切断画像毎に、前記測定面の凹凸状態を前記x方向座標位置毎に表した深さ画像を生成する深さ画像生成部と、 前記深さ画像に対して2値化処理を行い、前記深さ画像で前記x方向座標位置毎に示された深さを、所定閾値に基づいて前記第1所定値又は第2所定値とした2値化深さ画像を生成する2値化処理部と、 前記光切断画像毎に前記欠値画像と前記2値化深さ画像とを統合し、前記2値化深さ画像及び前記欠値画像のうち少なくともいずれかで、前記第1所定値である前記x方向座標位置の画素値を前記第1所定値とし、前記2値化深さ画像の前記第2所定値と前記第1所定値とで各前記x方向座標位置を表した欠陥画像を生成する欠陥画像生成部と、 前記測定対象物の前記長手方向に沿って生成された複数の前記欠陥画像に基づいて、画素値が前記第1所定値である領域を前記表面欠陥として検出する欠陥検出部と、を備える、表面欠陥検出装置。
IPC (3件):
G01B 11/30 ( 200 6.01) ,  G01N 21/88 ( 200 6.01) ,  G01N 21/89 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/89 Z
引用特許:
出願人引用 (4件)
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