レーザ装置およびその電源装置

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：森下賢樹 , 富所輝観夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-081678
公開番号（公開出願番号）：特開2019-192715
特許番号：特許第7045250号
出願日： 2018年04月20日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一対の放電電極を含むレーザ共振器を駆動する電源装置であって、フルブリッジ回路およびトランスを含み、前記トランスの一次巻線が前記フルブリッジ回路と接続され、前記トランスの二次巻線に発生する高周波電圧を、前記一対の放電電極の容量を含む共振回路に印加する高周波電源と、前記高周波電源の外部に設けられ、前記共振回路の両端間に接続されて、前記共振回路の両端間の過電圧を抑制する過電圧抑制回路と、異常を検出すると前記高周波電圧の印加を停止させる保護回路と、を備え、前記保護回路が前記異常を検出するのに要する時間は、前記過電圧抑制回路が前記過電圧に耐えうる時間より短いことを特徴とする電源装置。

IPC (2件)：