特許
J-GLOBAL ID：200903018755196543

レーザ用電源装置

発明者：
岩田 明彦

岩田 明彦 について

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西前 順一

西前 順一 について

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田中 正明

田中 正明 について

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熊谷 隆

熊谷 隆 について

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松原 真人

松原 真人 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-168498
公開番号（公開出願番号）：特開2000-004059
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光のエネルギー強度を高くするため、最大出力を決める電源リアクトルを小さくし、微細加工に適した高周波の電源を得る。【解決手段】 直流電圧が入力される高周波電源からの交流出力を一対の誘電体を介してガス空間に導きガス空間に高周波放電を形成させてガスを励起してレーザ発振を得る装置において、上記高周波電源は複数の高速半導体を直列に接続した複数のアームによってインバータ装置を構成しており、出力用のトランスを有しない。そのため、出力インダクタンスは極めて小さく、放電空間に高い電力を供給することができる。
請求項（抜粋）：
直流電圧が入力される高周波電源からの交流出力を一対の誘電体を介してガス空間に導き、ガス空間に高周波放電を形成させてガスを励起してレーザ発振を得る装置において、上記高周波電源は複数の高速半導体を直列に接続した複数のアームによってインバータ装置を構成していることを特徴とするレーザ用電源装置。
Fターム (3件)：
5F071GG02 ,  5F071GG09 ,  5F071JJ05
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • ガスレーザ発振器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106299   出願人：株式会社東芝
  • ガスレーザ発振器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-112944   出願人：株式会社東芝
  • ガスレーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-090693   出願人：株式会社東芝
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審査官引用 (13件)
  • ガスレーザ発振器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106299   出願人：株式会社東芝
  • ガスレーザ発振器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-112944   出願人：株式会社東芝
  • ガスレーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-090693   出願人：株式会社東芝
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