秤量装置、基板液処理装置、秤量方法、基板液処理方法及び記憶媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柏岡潤二 , 内藤泰史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-008999
公開番号（公開出願番号）：特開2018-174301
特許番号：特許第7007928号
出願日： 2018年01月23日
公開日（公表日）： 2018年11月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】処理液を貯留する貯留部と、前記貯留部に前記処理液を導入する導入部と、前記貯留部から前記処理液を送出する送出部と、前記貯留部に貯留された前記処理液の表面にガスを吹きつけることにより前記処理液の摺り切りを行うガス供給部と、前記貯留部を温める加温部と、を備え、前記導入部は、処理液供給源から供給される前記処理液を前記貯留部に導入する導入配管を有し、前記加温部は、前記導入配管から分岐して前記貯留部に沿って延びると共に、前記処理液供給源に接続される循環配管を有する秤量装置。

IPC (2件)：