レーザ励起超音波発生装置、レーザ超音波検査装置、及びレーザ超音波検査方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人東京国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-075025
公開番号（公開出願番号）：特開2019-095419
特許番号：特許第7039371号
出願日： 2018年04月09日
公開日（公表日）： 2019年06月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ光を出力するレーザ光源と、出力された前記レーザ光を複数に分割するレーザ分割部と、分割された前記レーザ光の入射角度に応じて照射対象の表面に照射される前記レーザ光の照射形状及び照射間隔の少なくとも一方を調整可能な光学系を備えて、この光学系に入射させた前記レーザ光のそれぞれを前記表面に照射して前記照射対象に超音波を励起させる分割レーザ照射部と、を備えることを特徴とするレーザ励起超音波発生装置。

IPC (2件)：