特許
J-GLOBAL ID：202203013410212890

インプリント用テンプレート、その製造方法、およびインプリント方法

発明者：
飯村 慶太

飯村 慶太 について

, 
山田 淳一

山田 淳一 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 太田 昌孝 ,  金森 靖宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-107402
公開番号（公開出願番号）：特開2019-212745
特許番号：特許第7070106号
出願日： 2018年06月05日
公開日（公表日）： 2019年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1面、当該第1面に対向する第2面、並びに当該第1面の外縁及び当該第2面の外縁の間に連続する側面を有し、前記第1面に凹凸パターンが形成されてなるパターン基板と、 少なくとも前記凹凸パターンを露出させ得る開口部、及び前記パターン基板の前記側面との間に第1間隙を設けるようにして前記側面を取り囲む側壁部を含む枠体と、前記パターン基板及び前記枠体を接合する接合部と、を備え、前記枠体は、前記パターン基板の前記第2面に対向する底部をさらに有し、前記枠体の前記底部には、前記パターン基板の前記側面及び前記枠体の前記側壁部の間の第1間隙に連続する貫通孔が設けられており、前記接合部は、前記第1間隙及び前記貫通孔に位置し、 前記パターン基板の前記第1面を上方に向けた側面視において、前記パターン基板の前記第1面と、前記枠体の上面と、前記第1間隙に位置する前記接合部の上面とが、実質的に面一であるインプリント用テンプレート。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B29C 33/38 ( 200 6.01) ,  B29C 59/02 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/30 502 D ,  B29C 33/38 ,  B29C 59/02 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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