特許
J-GLOBAL ID：200903009072343819

インプリントリソグラフィ

発明者：
クルイト-ステージマン,イボンヌ,ウェンデラ

クルイト-ステージマン,イボンヌ,ウェンデラ について

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シュラム,アイヴァー

シュラム,アイヴァー について

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ウイスター,サンダー,フレデリック

ウイスター,サンダー,フレデリック について

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ランメルス,イェルーン,ヘルマン

ランメルス,イェルーン,ヘルマン について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について


代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-303287
公開番号（公開出願番号）：特開2009-141350
出願日： 2008年11月28日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】 インプリントテンプレートのためのインプリントテンプレートカバーを提供する。【解決手段】 インプリントテンプレートのためのインプリントテンプレートカバーであって、インプリントテンプレートはその上にパターンフィーチャを有し、カバーは、使用中に、インプリントテンプレートのパターンフィーチャの周りに延在するように、かつカバーがパターンフィーチャと接触しないように構成されている、カバーが開示される。【選択図】図4a
請求項（抜粋）：
インプリントテンプレートのためのインプリントテンプレートカバーであって、前記インプリントテンプレートはその上にパターンフィーチャを有し、前記カバーは、使用中に、前記インプリントテンプレートの前記パターンフィーチャの周りに延在するように、かつ前記カバーが前記パターンフィーチャと接触しないように構成されている、カバー。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B29C 67/00
FI (2件)：
H01L21/30 502D ,  B29C67/00
Fターム (9件)：
4F213AF01 ,  4F213AJ11 ,  4F213AM25 ,  4F213WA12 ,  4F213WA53 ,  4F213WA73 ,  4F213WA86 ,  4F213WB01 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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