特許
J-GLOBAL ID：200903076190973770
インプリントリソグラフィ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-336452
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173806
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】インプリントリソグラフィにおいてテンプレートが基板上のインプリント可能な媒体内に圧入されるときテンプレートによりインプリントされる前に基板からインプリント可能媒体の一分が蒸発するという問題を解決できる装置を提供する。【解決手段】複数のインプリント用テンプレート40を保持するように構成されたテンプレートホルダ41と基板42を保持するように構成された基板ホルダ43とを備え、テンプレートホルダ41が基板ホルダ43の下に配置される、リソグラフィ装置が開示される。【選択図】図4b
請求項（抜粋）：
複数のインプリント用テンプレートを保持するように構成されたテンプレートホルダと基板を保持するように構成された基板ホルダとを備え、
前記テンプレートホルダは、前記基板ホルダの下に配置される、
リソグラフィ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (11件)
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