特許
J-GLOBAL ID:202203016495596305
荷電粒子輸送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
楠 修二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2021-136608
公開番号(公開出願番号):特開2022-069391
出願日: 2021年08月24日
公開日(公表日): 2022年05月11日
要約:
【課題】設備コストを低減することができ、荷電粒子の量によらず、効率よく荷電粒子を輸送することができる荷電粒子輸送装置を提供する。
【解決手段】細長い内側導体11と、内側導体11の長さ方向に沿って伸びるよう配置された外側導体12とを有している。外側導体12は、内側導体11との間に間隔をあけて、内側導体11の側面の全体または一部を覆っている。電位差付与手段13が、内側導体11と外側導体12との間に電位差を付与可能に設けられている。電位差付与手段13により電位差を付与したとき、内側導体11と外側導体12との間の空間で、荷電粒子1が内側導体11の周囲を旋回しながら内側導体11の長さ方向に沿って移動可能に、その荷電粒子1に、内側導体11に向かう力が常に加わるよう構成されている。
【選択図】図4
請求項(抜粋):
細長い内側導体と、
前記内側導体との間に間隔をあけて、前記内側導体の側面の全体または一部を覆い、前記内側導体の長さ方向に沿って伸びるよう配置された外側導体と、
前記内側導体と前記外側導体との間に電位差を付与可能に設けられた電位差付与手段とを有し、
前記電位差付与手段により前記電位差を付与したとき、前記内側導体と前記外側導体との間の空間で、荷電粒子が前記内側導体の周囲を旋回しながら前記内側導体の長さ方向に沿って移動可能に、前記荷電粒子に、前記内側導体に向かう力が常に加わるよう構成されていることを
特徴とする荷電粒子輸送装置。
IPC (3件):
H01J 49/06
, G21K 5/04
, G21K 1/00
FI (3件):
H01J49/06 200
, G21K5/04 A
, G21K1/00 A
引用特許:
出願人引用 (1件)
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同軸イオンガイド
公報種別:公表公報
出願番号:特願2015-562313
出願人:マイクロマスユーケーリミテッド
審査官引用 (3件)
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