特許
J-GLOBAL ID：202203018698263363
変位計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-039770
公開番号（公開出願番号）：特開2019-152614
特許番号：特許第7048870号
出願日： 2018年03月06日
公開日（公表日）： 2019年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 干渉計から出力される干渉信号I(t)が次式からなる場合に、 ここで、I0:レーザ光強度、m:変調深さ、Jk(m):k次ベッセル関数、λ0:レーザ中心波長、ΔL:被計測物の変位、ωm:変調周波数、n:空気屈折率、V:コントラスト、t:時間、 前記式(1)において、第1次高調波の一周期内で、第2次高調波が最大値及び最小値となる時間並びに第3次高調波が最大値及び最小値となる時間におけるそれぞれの前記干渉信号を入力するデータ収集手段と、 前記第2次高調波が最大値となる時間における前記干渉信号と最小値となる時間における前記干渉信号との差を複数加算した値に基づき前記第2次高調波の振幅を求め、前記第3次高調波が最大値となる時間における前記干渉信号と最小値となる時間における前記干渉信号との差を複数加算した値に基づき前記第3次高調波の振幅を求める演算手段と、 前記第2次高調波の振幅及び前記第3次高調波の振幅からリサージュダイアグラムによって前記被計測物の変位情報を得る変位情報出力手段と、 を備えた変位計測装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G01B 9/02 ( 202 2.01)
