高速大面積非接触3次元表面検査機の開発

実施期間：2014 - 2015
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 理工学研究科, 准教授 )
研究概要：

1mmあたり80ラインの段差をもつ大口径の空間位相変調器を用いてシングルショット計測を行える干渉計を構築した。干渉波形を測定する際に単一次数の干渉がCCDサイズに一致する様光学調整し、深さ計測の分解能20μm台を得た。入射光はシリンドリカルレンズを用いて、光形状がライン状になる様に試料に照射した。一方、試料からの散乱光をCCDに結像するために、入射とは直交したシンドリカルレンズをCCD前に設置した。これにより、光散乱を発生する試料を計測した際にもシングルショットの2次元イメージングが可能であることを確認した。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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