特許
J-GLOBAL ID:202303002804942082
超純水中のイオン成分の分析方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
重野 剛
, 重野 隆之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2021-158070
公開番号(公開出願番号):特開2023-048642
出願日: 2021年09月28日
公開日(公表日): 2023年04月07日
要約:
【課題】汚染なくブランク低減化を実現し、高感度で且つオンタイムで濃縮、分析することができる超純水中のイオン成分の分析方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料超純水を濃縮して分析手段で分析する純水中のイオン成分の分析方法において、試料超純水を電気透析装置により濃縮することを特徴とする純水中のイオン成分の分析方法。好ましくは、電気透析装置は第2電気透析装置20であり、第1生成室27に試料超純水を通水し、第2生成室28に高純度硝酸水溶液を通水し、第2生成室28から分析用濃縮水を取り出す。第2生成室28に通水する高純度硝酸水溶液は、第1電気透析装置10で硝酸カリウム水溶液を透析処理して生成させたものである。
【選択図】図1
請求項(抜粋):
試料超純水を濃縮して分析手段で分析する超純水中のイオン成分の分析方法において、
試料超純水を電気透析装置により濃縮することを特徴とする純水中のイオン成分の分析方法。
IPC (4件):
G01N 33/18
, C02F 1/469
, B01D 61/44
, B01D 61/46
FI (5件):
G01N33/18 C
, C02F1/469
, B01D61/44 500
, B01D61/46 500
, B01D61/44 510
Fターム (18件):
4D006GA17
, 4D006KA26
, 4D006MA14
, 4D006MA15
, 4D006PA02
, 4D006PB12
, 4D006PB28
, 4D006PC38
, 4D061DA01
, 4D061DB18
, 4D061DC14
, 4D061EA09
, 4D061EB13
, 4D061EB16
, 4D061EB37
, 4D061GC02
, 4D061GC11
, 4D061GC14
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)