電気二重層キャパシタの作製方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：山川茂樹 , 小池勇三 , 山川政樹 , 本山泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-133862
公開番号（公開出願番号）：特開2023-028267
出願日： 2021年08月19日
公開日（公表日）： 2023年03月03日
要約：

【課題】イオン液体を用いた所望とする電気容量の電気二重層キャパシタを、従来技術に比較して容易に作製する。【解決手段】第1電極102を負電極とし第2電極104を正電極とした電気化学エッチングにより第1電極102に存在する結晶欠陥を選択的にエッチングすることで、第1電極102を多孔質とする。例えば、イオン液体103の温度を220Kとし、第1電極102と第2電極104との間に-4.5Vの電圧を印加することで、電気化学エッチングを実施する。【選択図】図1D

請求項（抜粋）：

単結晶基板の上に、ACuO 2 (A=Ba、Sr、Ca)、または、Aの一部を希土類元素で置換したA 1-x R x CuO 2 (Rは希土類元素)を有する銅酸化物を結晶成長して第1電極を形成する第1工程と、前記第1電極の表面に接する状態でイオン液体を配置する第2工程と、前記イオン液体に接触する状態で第2電極を配置する第3工程と、前記第1電極を負電極とし前記第2電極を正電極とした電気化学エッチングにより前記第1電極に存在する結晶欠陥を選択的にエッチングすることで、前記第1電極を多孔質とする第4工程とを備える電気二重層キャパシタの作製方法。

IPC (3件)：

H01G 11/86 , H01G 11/46 , H01G 11/58

FI (3件)：

H01G11/86 , H01G11/46 , H01G11/58

Fターム (6件)：

5E078AA01 , 5E078AB02 , 5E078BA27 , 5E078BB08 , 5E078DA13 , 5E078DA17

引用特許：

出願人引用 (13件)

特許第4618929号公報
特許第6443725号公報
特許第6455861号公報

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