特許
J-GLOBAL ID：202303013942498888
対向型X線複合ミラー及びそのアライメント装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-016057
公開番号（公開出願番号）：特開2023-114016
出願日： 2022年02月04日
公開日（公表日）： 2023年08月17日
要約：
【課題】ミラー同士を調整するのにかかる時間を大幅に短縮し、特殊計測機やX線のビームを用いずともアライメントが完了した状態で対向型X線複合ミラーを提供する。
【解決手段】1次元のX線反射面が形成されたミラー基体が少なくとも2つ以上存在し、少なくとも二つのX線反射面が対向している対向型X線複合ミラーであって、各ミラー基体の表面にX線反射面と平面領域を形成し、一方のミラー基体のX線反射面と反対側の裏面に、表面の平面領域に対する相対角が規定された基準面を有している。
【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
1次元のX線反射面を二つ以上備え、X線の斜入射光学系に用いるX線複合ミラーであって、
少なくとも表面とそれに対向する裏面を備えたミラー基体が少なくとも2つ以上存在し、
前記各ミラー基体の表面の一部に、凹型、凸型の何れか一方、若しくは両方の形状の1次元のX線反射面を有するとともに、当該X線反射面と同一側の表面の一部に、平面領域を有し、
前記ミラー基体の平面領域の少なくとも一部を基準にして、別のミラー基体の相対配置を決定し、少なくとも二つのX線反射面が対向している構造の対向型X線複合ミラーにおいて、
当該ミラー基体のX線反射面と反対側の裏面に、表面の平面領域に対する相対角が規定された基準面を有している、
ことを特徴とする対向型X線複合ミラー。
IPC (4件)：
G21K 1/06
, G02B 7/00
, G02B 7/182
, G02B 5/10
G21K1/06 P
, G02B7/00 D
, G02B7/182
, G02B5/10 A
, G21K1/06 B
2H042DD01
, 2H042DD07
, 2H042DD09
, 2H043AD02
, 2H043AD13
, 2H043AD21
, 2H043CA09
, 2H043CA10
, 2H043CB01
, 2H043CE00
