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J-GLOBAL ID：200901003392519197   Update date: Mar. 03, 2025

takahiko yanagitani

ヤナギタニ タカヒコ | takahiko yanagitani
Clips
Affiliation and department：
Waseda University Faculty of Science and Engineering

About Waseda University Faculty of Science and Engineering


Job title： Professor
Homepage URL  (1)： https://yanagitani.w.waseda.jp/
Research field  (8)： Applied physics - general ,  Measurement engineering ,  Crystal engineering ,  Applied materials ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Mechanics and mechatronics ,  Robotics and intelligent systems ,  Electronic devices and equipment
Research keywords  (14)： BAW filter ,  SMR ,  FBAR ,  RF-MEMS ,  ScAlN ,  スパッタリング ,  イオンビーム ,  圧電デバイス ,  弾性表面波 ,  ZnO ,  SAW ,  センサ ,  薄膜 ,  配向制御
Research theme for competitive and other funds  (11)：
  • 2021 - 2024 分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現
  • 2019 - 2022 GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
  • 2018 - 2021 Electromagnetical coupling of AlCeN films grown by RF magnetron sputtering
  • 2016 - 2019 Shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid
  • 2015 - 2018 Measurement method for polarity-inverted layered piezoelectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy
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Papers (170)：
  • S. Kinoshita, R. Karasawa, Y. Shimano, M. Matsumura, T. Yanagitani. Zig-zag ScAlN 12-layer for shear mode BAW transformer application in rectenna. IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 2025. in press
  • Y. Shimano, Motoshi Suzuki, T. Yanagitani. k332 Estimation of thin films via piezoelectric stiffening using ultrasonic reflectometry,. IEEE Open J.Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 2025. 5. 1-5
  • S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi, T. Yanagitani. GHz voltage amplification in stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO2 layers. Appl. Phys. Express. 2024. 17. 116501
  • K-H Sano, Y. Ono, R. Tobinaga, Y. Imamura, Y. Hayashi, T. Yanagitani. Atmospheric gas-phase catalyst etching of SiO2 for deep microfabrication using HF gas and patterned photoresist,. ACS Appl. Mater. Interfaces. 2024. 16. 17. 22657-22664
  • J. Jia, D. Kishi, N. Bai, T. Okajima, F. Lesari, T. Yanagitani. Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O. Phys. Rev. B. 2024. 134101
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MISC (70)：
  • Junjun Jia, Takahiko Yanagitani. Enhanced Electromechanical Coupling Near the Phase Boundary in Wurtzite (Mg,Zn)O and (Sc,Al)N. 2024 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics & Mechanics (IC-MAM). 2024
  • 茂木彩音, 柳谷隆彦. 数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 41-46
  • 小林栞, 柳谷隆彦. エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 18-23
  • 石井直輝, 柳谷隆彦. c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 53-58
  • 白岩和剛, 柳谷隆彦. 厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 47-52
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Patents (10)：
  • 圧電素子及び圧電変換装置
  • Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus
  • 超音波探触子および超音波検査装置
  • 超音波探触子及び超音波探傷システム
  • 超音波探触子及び超音波探傷システム
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Books (3)：
  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
    技術情報協会 2014
  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
    技術情報協会 2014
  • Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520
    Intech 2011 ISBN:9789533075723
Lectures and oral presentations  (620)：
  • エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の誘起圧電性
    (応用物理学会 2024)
  • 純 AlN 薄膜 SMR の kt2ヒステリシス特性
    (応用物理学会 2024)
  • 周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス
    (応用物理学会 2024)
  • c 軸傾斜 ScAlN 薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製
    (応用物理学会 2024)
  • エピタキシャル PbTiO3薄膜を用いた ブラッグ反射器型共振子の分極反転特性
    (応用物理学会 2024)
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Education (3)：
  • 2003 - 2006 Doshisha University
  • 2001 - 2003 Doshisha University
  • 1997 - 2001 Doshisha University
Professional career (1)：
  • 博士(工学) (同志社大学)
Work history (8)：
  • 2022/04 - 現在 Waseda University School of Advanced Science and Engineering Professor
  • 2015/04 - 2022/03 Waseda University Faculty of Science and Engineering
  • 2016/10 - 2020/03 JSTさきがけ研究員(兼任)
  • 2012/04 - 2014/03 Nagoya Institute of Technology Assistant professor
  • 2008/05 - 2012/03 Nagoya Institute of Technology
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Committee career (9)：
  • 2014/12 - 現在 Scientific Reports (Nature Publishing Group) Editorial Board member
  • 2013/10 - 現在 IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee
  • 2012/04 - 現在 日本音響学会誌査読委員 日本音響学会誌 査読委員(2012年04月-現在)
  • 2012/04 - 現在 超音波エレクトロニクスシンポジウム運営委員 論文委員(2010年04月-現在)
  • 弾性波素子技術コンソーシアム 幹事
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Awards (8)：
  • 2018 - 文部科学大臣表彰
  • 2016 - 早稲田大学リサーチアワード(国際研究発信力)
  • 2013/11 - 名古屋工業大学 優秀賞(教員評価)
  • 2013/11 - 名古屋工業大学 褒賞
  • 2013/01 - 名古屋工業大学 特別優秀賞(教員評価)
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Association Membership(s) (2)：
応用物理学会 ,  IEEE
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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