takahiko yanagitani

ヤナギタニタカヒコ | takahiko yanagitani

Affiliation and department：
Job title： Professor
Homepage URL (1)： https://yanagitani.w.waseda.jp/

Research field (8)： Applied physics - general , Measurement engineering , Crystal engineering , Applied materials , Thin-film surfaces and interfaces , Mechanics and mechatronics , Robotics and intelligent systems , Electronic devices and equipment

Research keywords (14)： BAW filter , SMR , FBAR , RF-MEMS , ScAlN , スパッタリング , イオンビーム , 圧電デバイス , 弾性表面波 , ZnO , SAW , センサ , 薄膜 , 配向制御

Research theme for competitive and other funds (11)：

2021 - 2024 分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現
2019 - 2022 GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
2018 - 2021 Electromagnetical coupling of AlCeN films grown by RF magnetron sputtering
2016 - 2019 Shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid
2015 - 2018 Measurement method for polarity-inverted layered piezoelectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy

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Papers (168)：

S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi, T. Yanagitani. GHz voltage amplification in stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO₂ layers. Appl. Phys. Express. 2024. in press
K-H Sano, Y. Ono, R. Tobinaga, Y. Imamura, Y. Hayashi, T. Yanagitani. Atmospheric gas-phase catalyst etching of SiO2 for deep microfabrication using HF gas and patterned photoresist,. ACS Appl. Mater. Interfaces. 2024. 16. 17. 22657-22664
J. Jia, D. Kishi, N. Bai, T. Okajima, F. Lesari, T. Yanagitani. Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O. Phys. Rev. B. 2024. 134101
S. Tokai, T. Yanagitani. Full-epitaxial ScAlN and MgZnO solidly mounted resonators based on epitaxial acoustic Bragg reflector. Appl. Phys. Lett. 2024. 124,. 082901
S. Tokai, T. Yanagitani. Epitaxial ZnO piezoelectric layer on SiO2/Mo solidly mounted resonator fabricated using epitaxial Au sacrificial layer. Appl. Phys. Express. 2024. 17. 025501

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MISC (70)：

Junjun Jia, Takahiko Yanagitani. Enhanced Electromechanical Coupling Near the Phase Boundary in Wurtzite (Mg,Zn)O and (Sc,Al)N. 2024 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics & Mechanics (IC-MAM). 2024
茂木彩音, 柳谷隆彦. 数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 41-46
小林栞, 柳谷隆彦. エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 18-23
石井直輝, 柳谷隆彦. c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 53-58
白岩和剛, 柳谷隆彦. 厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 47-52

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Patents (10)：

圧電素子及び圧電変換装置
Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus
超音波探触子および超音波検査装置
超音波探触子及び超音波探傷システム
超音波探触子及び超音波探傷システム

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Books (3)：

次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
技術情報協会 2014
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
技術情報協会 2014
Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520
Intech 2011 ISBN:9789533075723

Lectures and oral presentations (620)：

エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の誘起圧電性
(応用物理学会 2024)
純 AlN 薄膜 SMR の kt2ヒステリシス特性
(応用物理学会 2024)
周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス
(応用物理学会 2024)
c 軸傾斜 ScAlN 薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製
(応用物理学会 2024)
エピタキシャル PbTiO3薄膜を用いたブラッグ反射器型共振子の分極反転特性
(応用物理学会 2024)

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Education (3)：

2003 - 2006 Doshisha University
2001 - 2003 Doshisha University
1997 - 2001 Doshisha University

Professional career (1)：

博士(工学) (同志社大学)

Work history (8)：

2022/04 - 現在 Waseda University School of Advanced Science and Engineering Professor
2015/04 - 2022/03 Waseda University Faculty of Science and Engineering
2016/10 - 2020/03 JSTさきがけ研究員(兼任)
2012/04 - 2014/03 Nagoya Institute of Technology Assistant professor
2008/05 - 2012/03 Nagoya Institute of Technology

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Committee career (9)：

2014/12 - 現在 Scientific Reports (Nature Publishing Group) Editorial Board member
2013/10 - 現在 IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee
2012/04 - 現在日本音響学会誌査読委員日本音響学会誌査読委員(2012年04月-現在)
2012/04 - 現在超音波エレクトロニクスシンポジウム運営委員論文委員(2010年04月-現在)
弾性波素子技術コンソーシアム幹事

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Awards (8)：

2018 - 文部科学大臣表彰
2016 - 早稲田大学リサーチアワード(国際研究発信力)
2013/11 - 名古屋工業大学優秀賞(教員評価)
2013/11 - 名古屋工業大学褒賞
2013/01 - 名古屋工業大学特別優秀賞(教員評価)

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Association Membership(s) (2)：

応用物理学会 , IEEE

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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