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J-GLOBAL ID：200901036720841846 Update date: Oct. 08, 2024

Ohtsu Yasunori

オオツヤスノリ | Ohtsu Yasunori

Affiliation and department：
Job title： Professor
Homepage URL (1)： http://www.ee.saga-u.ac.jp/plasma/index.html

Research field (3)： Electrical power engineering , Basic plasma science , Applied plasma science

Research keywords (6)： Plasma Science , プラズマスパッタリング , プラズマイオンプロセス , 高周波プラズマ , プラズマ理工学 , Plasma Science and Technology

Research theme for competitive and other funds (31)：

2022 - 2026 Production of high-density hydrogen plasma by a novel hollow-shaped magnetized discharge for performing high output negative ion source
2019 - 2022 Development of Neo-ring-shaped hollow magnetized discharge by Smoluckowski effect and production of negative ions
2016 - 2019 Novel development of ring-shaped hollow magnetized discharge under neo-magnetic field configuration for low-pressure high-density uniform plasma source
2011 - 2013 Establishment of hybrid ring-shaped hollow discharge and application to large-diameter high-density plasma source
2006 - 2007 高2次電子放出・強誘電体酸化物電極による高圧気体マイクロプラズマ低エネルギー生成

2007 - 新方式プラズマスパッタリング装置の開発

2007 - Development of high density uniform sputtering plasma source

2005 - 2006 電子レンジ・携帯電話にみる電磁波体験型科学創造性育成法の開発

2006 - プラズマスパッタリングによる高温圧電素子薄膜の高速合成

2006 - 大気圧プラズマによるバイオ応用

2004 - 2005 新医療福祉機器を目指した大気圧室温プラズマ生成

2005 - Bacillus spores sterilization using low temperature oxygen plasma or atmospheric pressure plasma

2003 - 2004 酸化物電極容量結合型放電による高効率高密度プラズマ生成とその展開

2003 - 2004 生徒体験型オーロラ実験に関する教材開発

2002 - 2003 Analysis of Two Dimensional Velocity Space Structure of Ions in Simulated Divertor Plasma With High Angular

2001 - 2002 電子ビーム注入による浮遊微粒子の空間分布制御

2000 - プラズマCVD法による超撥水性薄膜合成

2000 - Production of Dielectric Barrier Discharge Microplasmas at Various Oxides with High Secondary Electron Emission and High Dielectric Constant

2000 - Effect of negative pulsed high-voltage-bias on diamond-like carbon thin film preparation using capacitively coupled radio-frequency plasma chemical vapor deposition

2000 - Preparation of thin zirconium oxide films prepared by dual frequency oxygen plasma sputtering

1998 - プラズマディスプレイパネルの低消費電力化を目指したマイクロプラズマの放電開始電圧の低減

1995 - Preparation of ultra water repellent films by plasma CVD

1991 - Production of high-density capacitively coupled radio-frequency discharge plasma by high-secondary-electron-emission oxide

陶磁器表面への耐摩耗・撥水性膜合成技術開発

プラズマイオンプロセスを用いた高密着性硬質炭素膜合成技術開発

プラズマスパッタリングを用いた陶磁器用耐摩耗・撥水性薄膜合成

プラズマイオンを用いた高密着性硬質炭素膜合成

放電プラズマによる光源に関する研究

プラズマプロセシングに関する研究

Study on Light Source with Discharge Plasma

Study on Plasma Processing using capacitively coupled RF palsma

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Papers (117)：

Yasunori Ohtsu, Godai Sakata, Julian Schulze, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami. Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SI
Yasunori Ohtsu, Masaya Takasaki, Julian Schulze. Spatial structure of radio-frequency capacitive discharge plasma with ring-shaped hollow electrode using Ar and O2 mixture gases. 2019. 52. 35
Md. Amzad Hossain, M. A. Majed Patwary, M. M. Rahman, Bhuiyan, Yutaro, Nakamura, Kosei Sugawara, Yasunori Ohtsu. Observation of ring-shaped pulsed DC discharge plasma source using single pole magnet setups for material processing. 2019. 174. 5-6
Yasunori Ohtsu, Yusuke Takada, Kosei Sugawara, Yuki Fujio, Tatsuo Tabaru. Treatment of a polycarbonate plate for a next-generation vehicle window by radio frequency magnetron plasma sputtering using a PVDF target. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2019. 58. SE
Md. Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru. Performance of a Gyratory Square-Shaped Capacitive Radio Frequency Discharge Plasma Sputtering Source for Materials Processing. PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING. 2017. 37. 6. 1663-1677

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MISC (132)：

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Patents (2)：

プラズマ処理装置
オゾン発生方法および装置

Books (9)：

Development of Novel RF Sputtering Plasma Source and Preparation of Al-Doped ZnO Thin Films for Transparent Conductive Oxide Applications
2019
Physics of High-Density Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma with Various Electrodes and Its Applications
2019
Physics of High-Density Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma with Various Electrodes and Its Applications
IntechOpen 2019
「超撥水・超撥油・滑液性表面の技術」
サイエンス&テクノロジー 2016
精密加工と微細構造の形成技術
技術情報協会 2013

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Lectures and oral presentations (238)：

Production of double ring-shaped magnetized radio-frequency hydrogen high-density plasma
(2019)
次世代自動車窓材プラスチック板への撥水性薄膜合成のための高周波マグネトロンスパッタ装置の開発
(2019)
アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマの生成と分光特性
(2019)
ターゲット利用率向上を目的とした回転迷路型 RF マグネトロンスパッタ装置の開発とその評価
(2019)
Characteristics of Aluminum doped zinc oxide film prepared using RF magnetized plasma sputtering source with square-shaped magnet setup
(2019)

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Works (3)：

ECRマイクロ波プラズマ中のイオンエネルギー分布計測に関する研究
2001 - 現在
臭素回収方法およびその装置
2010 - 2010
オゾン発生方法および装置
2003 - 2003

Education (4)：

- 1991 Saga University
- 1991 Saga University Graduate School, Division of Science and Engineering
- 1989 Saga University Faculty of Science and Engineering
- 1989 Saga University Faculty of Science and Engineering

Professional career (2)：

(BLANK) (Saga University)
(BLANK) (Saga University)

Work history (11)：

2020/04 - 現在 Saga University
2019/04 - 現在 Saga University Faculty of Science and Engineering Department of Electrical and Electronic Engineering Professor
2015/01 - 現在 Saga University Courses of Science and Engineering
2002 - 2007 Saga University Faculty of Science and Engineering
2007 - - 准教授(職名変更)

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Committee career (27)：

2020/06 - 2022/05 プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部長
2015/04 - 2018/03 電気学会論文委員会幹事
2009/10 - The members of the International Advisory Committee for the Plasma and Spectroscopy section of the Journal of Advanced Research in Physics, Al I Cuza University of Iasi, Romania
2009/08 - Committee Members of the Sixth Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT-6) December 14-16, 2009 Hsinchu, Taiwan, R.O.C
2009 - IEEE 正員

2009 - 平成21年8月~ Committee Members of the Sixth Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT-6) December 14-16, 2009 Hsinchu, Taiwan, R.O.C

2009 - IEEE Member

平成21年10月~The members of the International Advisory Committee for the Plasma and Spectroscopy section of the Journal of Advanced Research in Physics, Al I Cuza University of Iasi, Romania

平成21年9月~平成22年9月第71回応用物理学会学術講演会実行委員(長崎大学開催)

平成21年8月3日~平成23年3月31日 NEDO技術委員(研究評価委員会「次世代大型消費電力プラズマディスプレイ基盤技術開発分科会」委員)

平成21年4月~平成22年3月平成21年度(独)科学技術振興機構・「地域科学技術理解増進活動推進事業地域活動支援」神埼市教育委員会採択、連携機関講師、

平成20年12月~平成21年3月平成20年度広域連携事業調査」委員会(半導体)委員

平成20年4月~平成21年3月平成20年度(独)科学技術振興機構・「地域科学技術理解増進活動推進事業地域活動支援」神埼市教育委員会採択、連携機関講師、

平成20年4月~平成22年3月プラズマ・核融合学会代議員

平成20年4月~平成23年3月電気学会プラズマ技術委員会1号委員

平成20年4月~平成22年3月電気学会九州支部協議員

平成19年8月~平成20年9月同国際会議プロシーディングス編集委員担当エディター

平成19年8月~平成20年9月第14回プラズマ理工学に関する国際会議現地実行委員

平成19年4月~平成21年3月日本機械学会環境工学部門P-SCD300大気圧プラズマ流による人間環境保全技術に関する研究分科会委員

平成19年4月~平成20年3月第6回アジア・ヨーロッパプラズマ表面工学に関する国際会議現地実行委員

平成19年3月~平成20年3月文部科学省科学技術政策研究所科学技術動向研究センター専門調査員

平成18年4月~ 応用物理学会九州支部理事

平成18年1月~平成21年1月電気学会「メタルスパッタプラズマの高度化」調査専門委員会委員

平成16年6月~平成17年5月プラズマ・核融合学会代議員

平成13年4月~平成13年12月平成13年度応用物理学会九州支部学術講演会現時実行委員

平成13年4月~平成15年3月応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事

平成11年4月~平成12年1月応用物理学会プラズマプロセシング研究会実行委員

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Awards (5)：

2024/05 - AIP Publising Journal of Vacuum Science and Tehchnology A, Featured Articles
2022/09 - IOP publishing IOP trusted reviewer status
2020/09 - IOP publishing IOP trusted reviewer status
2020/03 - IOP publishing Outstanding Reviewer Award
2017/05 - AIP Publising AIP Advances Editor's Picks

Association Membership(s) (4)：

MRS-J , プラズマ・核融合学会 , 応用物理学会 , 電気学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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