Rchr
J-GLOBAL ID：200901050264741942
Update date: Sep. 11, 2022
Masafumi Shibahara
シバハラ マサフミ | Masafumi Shibahara
Contact this researcher
You can send email directly to the researcher.
Affiliation and department：
Hyogo Prefectural Institute of Technology
About Hyogo Prefectural Institute of Technology
Search "Hyogo Prefectural Institute of Technology"
Research field (1)：
Material fabrication and microstructure control
Research keywords (1)：
材料加工・処理
Research theme for competitive and other funds (1)：
2008 - 2010 紫外レーザー照射と大気圧プラズマ処理を併用したギガヘルツ帯プリント回路基板の開発
MISC (6)：
柴原正文, 赤松正守, 神崎 仁, 山村和也. 大気圧プラズマ処理によるポリテトラフルオロエチレンの表面改質. 表面技術協会誌、Vol. 58、 No.7. 2007. 58. 7. 420-424
SHIBAHARA Masafumi, INAGAKI Kanji, YAMAMURA Kazuya, YAMAMURA Kazuya. Surface Modification of Poly Ethylene Terephthalate Sheet by Atmospheric Plasma Treatment. Jitsumu Hyomen Gijutsu. 2007. 58. 2. 124-129
柴原正文, 山村和也, 佐野泰久, 杉山 剛, 山本雄介, 遠藤勝義, 森 勇藏. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 -回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-. 精密工学会誌. 2006. 72. 7. 934-938
Masafumi Shibahara, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Tsuyoshi Sugiyama, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori. Improvement of the thickness distribution of a quartz crystal wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining. Review of Scientific Instruments. 2005. 76. 9. 096103
山村和也, 柴原正文, 佐野泰久, 杉山 剛, 遠藤勝義, 森 勇藏. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-加工装置の開発と基本的加工特性の取得-. 精密工学会誌. 2005. 71. 4. 455-459
ｍore...
Professional career (1)：
博士(工学) (大阪大学)
Association Membership(s) (2)：
表面技術協会
, 精密工学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in
researchmap
.
For details, see here
.
Return to Previous Page
TOP
BOTTOM
