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J-GLOBAL ID：200902254348264358   Reference number：06A0540528

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode-

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-

Author (7)： SHIBAHARA MASAFUMI (兵庫県工技セ) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SUGIYAMA TSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAMOTO YUSUKE (大阪大 大学院工学研究科) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 72  Issue： 7  Page： 934-938  Publication year： Jul. 05, 2006 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,...
Semi thesaurus term： パイプ電極 ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (7)：

• 日本水晶デバイス工業会編. 水晶デバイスの解説と応用. 2002, 50
• 佐藤雄一. 光伝送用電圧制御水晶発振器の提案. 電気学会電子・情報システム部門大会講演論文集, 2001. 2001, 2, 215
• 山村和也. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 -加工装置の開発と基本的加工特性の取得-. 精密工学会誌. 2005, 71, 455
• 柴原正文. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 -円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-. 精密工学会誌. 2005, 71, 655
• TAKINO, H. Computer numerically controlled plasma chemical vaporization machining using a pipe electrode for optical fabrication. Appl. Opt. 1998, 37, 5198

Terms in the title (12)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  高精度加工 ,  研究 ,  回転電極 ,  パイプ ,  併用 ,  数値制御加工 ,  厚さ ,  均一化