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J-GLOBAL ID:201801002666548192   Update date: Apr. 17, 2024

Ito Haruhiko

Ito Haruhiko
Research theme for competitive and other funds  (6):
  • 2016 - 2018 高硬度アモルファス窒化炭素薄膜の形成と薄膜堆積メカニズムの解明
  • 水素含有ラジカルの分光計測にもとづく電界放出型マイクロプラズマ素子の最適化
  • アモルファス窒化炭素材料の波長可変深紫外in situ共鳴ラマン分光計測
  • 高窒素含有・超硬質アモルファスカーボンナイトライドの創製
  • 高分解能差周波レーザー分光法にもとづくアモルファス炭素系薄膜の超硬質化機構の解明
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Papers (41):
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MISC (7):
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Patents (1):
  • プラズマCVD法を用いた硬質アモルファスSiC薄膜の形成
Lectures and oral presentations  (35):
  • Synthesis and Structural Analysis of Hydrogenated Amorphous Carbon Nitrides with High [N]/([N]+[C]) Ratios
    (IUMRS-ICAM2017 2017)
  • CN(X2-sigma+) Radicals as the Precursor of Hydrogenated Amorphous Carbon Nitride Films
    (IPS2016 2016)
  • Si(CH3)4の放電分解によるa-SiCx:H薄膜の形成 - 表面O原子と膜厚に関する考察
    (2017年 第64回応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • Fabrication of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of Hexamethyldisilane with Microwave Discharge Flow of Ar
    (Dry Process Symposium 2015 2015)
  • Precursor of N atoms of Hydrogeneated Amorphous Carbon Nitride Films Formed from the Microwave Discharge of C2H2/N2 Gas Mixture
    (ISPlamsa 2015 2015)
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Work history (4):
  • 2007/04/01 - 現在 Nagaoka University of Technology
  • 1994/04/01 - 2007/03/31 Nagaoka University of Technology
  • 1989/01/01 - 1994/03/31 Nagaoka University of Technology
  • 1988/04/01 - 1988/12/31 Institute for Molecular Science Special researcher of the Japan Society for the Promotion of Science
Association Membership(s) (1):
ニューダイヤモンドフォーラム
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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