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J-GLOBAL ID:200901057542156384   Update date: May. 27, 2021

Sakai Akira

サカイ アキラ | Sakai Akira
Affiliation and department:
Job title: Professor
Research field  (4): Inorganic materials ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Crystal engineering ,  Applied materials
Research theme for competitive and other funds  (6):
  • 電子顕微鏡による構造解析
  • 半導体格子欠陥に関する研究
  • 半導体薄膜成長に関する研究
  • Characterization of inorganic materials by electron microscopy
  • Study on defects in semiconductor materials
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Papers (560):
MISC (32):
Works (5):
  • GaN結晶膜およびGaN系半導体素子(特許)
    1998 -
  • 半導体結晶の作製方法(特許)
    1996 -
  • (]G0048[)誘電率膜キャパシタ(特許)
    1995 -
  • アモルファスシリコン膜の形成方法(特許)
    1993 -
  • 半導体装置の製造方法(特許)
    1992 -
Professional career (1):
  • 博士(工学)
Awards (2):
  • 2003/03 - 財団法人大河内記念会 第49回(平成14年度)大河内賞記念賞 大容量DRAM用HSG-Siキャパシタの開発と実用化
  • 1999 - 応用物理学会賞A論文賞
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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