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J-GLOBAL ID：200902065405483358   Reference number：91A0640701

Ultra-precision Positioning Using Leadscrew Drive(2nd Report). Nanometers Accuracy Positioning by Improved Proportional Gain Characteristic.

ねじ駆動による超精密位置決め(第2報) 比例ゲイン特性の改善によるナノメータ位置決め

Author (5)： KAWASE YOSHIHIRO (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  OTSUKA JIRO (東京工大 精密工研) ,  FUKADA SHIGEO (東京工大 精密工研) ,  AOKI YOSHITO (松下通信工業) ,  IIDA NOBORU (東京工大 大学院 総合理工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 57  Issue： 7  Page： 1211-1216  Publication year： Jul. 1991 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： servomotor ,...

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JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (7)：

• 1) 森山茂夫ほか : 電圧アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4 (1984) 718.
• 2) 内田憲男ほか : 自重補償機構を備えた縦形の超精密XYステージ, 精密工学会誌54, 5 (1988) 884.
• 3) H. Yonezawa, Y. Hirota and H. Sasai : Positioning Table with High Accuracy and High Speed, Ann, CIRP, 39, 1, (1990) 433.
• 4) 青木芳人, 川瀬佳洋, 深田茂生, 大塚二郎 : ねじ駆動による超精密位置決め (第1報) -すべりねじとボールねじによる基礎的研究, 精密工学会誌, 56, 11 (1990) 2033.
• 5) 二見 茂ほか : ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め (第1報) -システムの構成と粗・微動制御, 精密工学会誌, 57, 3 (1991) 550.

Terms in the title (4)： ねじ ,  精密位置決め ,  比例ゲイン ,  ナノメータ