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J-GLOBAL ID：200902104913842490   Reference number：97A0732745

Preferential Orientation of Titanium Dioxide Polycrystalline Films Using Atmospheric CVD Technique.

常圧CVD法による二酸化チタン多結晶膜の優先配向

Author (3)： TANAKA N (Nagaoka Univ. Technol., Nigata) ,  OHSHIO S (Nagaoka Univ. Technol., Nigata) ,  SAITOH H (Nagaoka Univ. Technol., Nigata)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 105  Issue： 7  Page： 551-554  Publication year： Jul. 1997 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： chemical vapor deposition ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (9)：

• CHEN, S. J. Vac. Sci. Technol. 1993, A11, 2419-2429
• BRADLEY, D. C. Metal Alkoxides. 1978
• NISHINO, J. J. Am. Ceram. Soc. 1992, 75, 3469-3472
• KAMATA, K. J. Am. Ceram. Soc. 1994, 77, 505-508
• BRYANT, W. A. J. Mater. Sci. 1977, 12, 1285-1306

Terms in the title (4)： 常圧CVD ,  二酸化チタン ,  多結晶 ,  優先配向