Art

J-GLOBAL ID：200902112150998500   Reference number：00A0586523

3-dimensional Piezodriven Microcantilever for Scanning Force Microscope.

走査型力顕微鏡のための三次元駆動圧電マイクロカンチレバー

Author (5)： KATAOKA KEN'ICHI (東大 大学院) ,  CHU J (機械技研) ,  MAEDA RYUTARO (機械技研) ,  ITO TOSHIHIRO (東大 先端科学技研セ) ,  SUGA TADATOMO (東大 先端科学技研セ)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 66  Issue： 6  Page： 965-969  Publication year： Jun. 05, 2000 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *force microscope ,...
Semi thesaurus term： PZT

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0586523&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Reference (10)：

• ITOH, T. Scanning Force Microscope Using Piezoelectric Excitation and Detection. IEICE Trans.Electron. 1995, E78-C, 146
• LEE, Ch. Micromachined Piezoelectric Force Sensors Based on PZT Thin Films. IEEE Trans.Ultrasonics Ferroelectrics,and Frequency Control. 1996, 43, 553
• ITOH, T. New Dynamic Scanning Force Micriscopes Using Piezoelectric PZT Microcantilevers. Proc.Transducers'97. 1997, 1, 459
• CHU, J. Frequency Modulation Detection High Vacuum Scanning Force Microscope with a Self-oscillating Piezoelectric Cantilever. J.Vac.Sci.Technol.B. 1997, 15, 1647
• ITOH, T. Independent Parallel Scanning Force MIcroscopy Using Pb(Zr,Ti)O_3 Microcantilever Array. Proc.MEMS'97. 1997, 78

Terms in the title (3)： 走査型力顕微鏡 ,  圧電 ,  マイクロカンチレバー