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J-GLOBAL ID：200902127258772492   Reference number：01A0209143

数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究 (第1報) X線ミラー加工用装置の開発

Author (3)： MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 1  Page： 131-136  Publication year： Jan. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *mirror finishing ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy

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JST classification (1)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K)

Reference (6)：

• MORI, Y. Plasma cvm (chemical vaporization mechining) : An Ultra Precision Machining Technique Using High-Pressure Reactive Plasma. Nanotechnology. 1993, 4, 225
• 森勇藏. プラズマCVM法による集積型a-Si太陽電池のパターニングに関する研究. 1995年春季第42回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1995, 850
• 森勇藏. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究-切断加工用高速回転電極の試作とその加工特性-. 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1996, 1143
• 森勇藏. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究(第1報)-ポリシング加工用高速回転電極の試作とその加工特性-. 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1996, 1145
• TAKINO, H. Computer Numerically Controlled Plasma Chemical Vaporization Machining with a Pipe Electrode for Optical Fabrication. Appl.Opt. 1998, 37, 5198

Terms in the title (5)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  X線ミラー ,  研究 ,  開発