Art

J-GLOBAL ID：200902138506503217   Reference number：99A0046171

Study on Nano-machining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope. 2nd Report. The Characteristics of Nano-Machining Process Using the Newly Developed FFM System.

摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 第2報 FFM一体形加工評価装置を用いた微細加工の特性

Author (3)： ASHIDA KIWAMU (千葉大 大学院) ,  MORITA NOBORU (千葉大 工) ,  YOSHIDA YOSHITARO (千葉大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 64  Issue： 626  Page： 4079-4085  Publication year： Oct. 1998 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanometer process ,...
Semi thesaurus term： 機械加工

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0046171&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• 安永暢男. 精密工学会誌. 1993, 59-4, 539-542
• 稲村豊四郎. 精密工学会誌. 1990, 56-8, 1480-1486
• 大村悦二. 砥粒加工学会誌. 1994, 38-5, 256-261
• 北川浩. トライボロジスト. 1995, 40-6, 452-457
• MEYER, G. Appl. Phys. Lett. 1985, 57-20, 2089-2091

Terms in the title (7)： 摩擦力顕微鏡 ,  極 ,  機械加工 ,  研究 ,  体形 ,  評価装置 ,  微細加工