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J-GLOBAL ID：200902160408750260   Reference number：93A0724021

Laser-induced Thermo-chemical Etching Mechanism and Characteristics of Ceramics.

レーザ誘起熱化学反応によるセラミックスの加工機構と加工特性

Author (4)： GOTO HIDEKAZU (京都工繊大 工芸) ,  TSUCHIYA HACHIRO (京都工繊大 工芸) ,  MIYAZAKI MAKOTO (京都工繊大 工芸) ,  KAGEYAMA SHIGEKI (ニコン)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 59  Issue： 8  Page： 1307-1312  Publication year： Aug. 1993 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Computer Simulation ,...
Semi thesaurus term： carbon tetrafluoride

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JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (13)：

• 1) 小藪国夫, 渡辺純二 : Nd : YAGレーザとKOH液によるAl₂O₃/TiCセラミックスのレーザアシストケミカルエッチング, 精密工学会誌, 53, 7(1987)1027.
• 2) 土屋八郎, 後藤英和, 森 勇蔵, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 西 雅文 : 熱化学反応を川いたSi₃N₄の除去加工, 精密工学会誌, 54, 1(1988)96.
• 3) 土屋八郎, 後藤英和, 森 勇蔵, 宮崎 眞, 安田光宏, 河原康司 : レーザ誘起熱化学反応を利用したセラミックスの加工-CF₄ガス雰囲気中での加工特性, 精密工学会誌, 54, 5(1988)99.
• 4) 土屋八郎, 後藤英和, 森 勇蔵, 広瀬喜久治, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 西 雅文 : CO₂レーザによるSiおよびSi₃N₄表面酸化反応層の形成と表面層の除去機構精密工学会誌, 53, 11(1987)107.
• 5) 土屋八郎, 後藤英和, 森 勇蔵, 広瀬喜久治, 宮崎 眞, 安田光宏, 植松克彰 : Si表面上におけるハロゲン含有ガス分子の熱分解過程, 精密工学会誌, 55, 8(1989)145.

Terms in the title (4)： レーザ誘起 ,  熱化学反応 ,  セラミックス ,  加工特性