Art

J-GLOBAL ID：200902160871689589   Reference number：99A0046170

Study on Nano-machining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope. 1st Report. Trial Production of Nano-machining and Measurement System Modified a FFM.

摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 第1報 FFM一体形加工評価装置の試作

Author (3)： ASHIDA KIWAMU (千葉大 大学院) ,  MORITA NOBORU (千葉大 工) ,  YOSHIDA YOSHITARO (千葉大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 64  Issue： 626  Page： 4072-4078  Publication year： Oct. 1998 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanometer process ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0046170&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• 安永暢男. 精密工学会誌. 1993, 59-4, 539-542
• 稲村豊四郎. 精密工学会誌. 1990, 56-8, 1480-1486
• 大村悦二. 砥粒加工学会誌. 1994, 38-5, 256-261
• 呉東権. 機論. 1992, 58-555, C, 3398-3403
• 吉岡正人. 精密工学会誌. 1993, 59-3, 515-520

Terms in the title (7)： 摩擦力顕微鏡 ,  極 ,  機械加工 ,  研究 ,  体形 ,  評価装置 ,  試作