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J-GLOBAL ID：200902184485696488   Reference number：01A0343509

Preparation of LaFeO₃ Perovskite Thin Films by Radio Frequency Magnetron Sputtering and Their Electrical Conductivities.

高周波マグネトロンスパッタリング法によるLaFeO₃ペロブスカイト薄膜の作製とその電気伝導性

Author (6)： YAMADA SATOSHI (帝京大 理工) ,  TAI HIDEO (帝京大 理工) ,  MATSUMOTO YASUMICHI (熊本大 工) ,  KOINUMA MICHIO (熊本大 工) ,  KAMADA KAI (熊本大 工) ,  SASAKI TAKESHI (物質工学工技研)
Material： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
Volume： 69  Issue： 3  Page： 171-176  Publication year： Mar. 05, 2001 
JST Material Number： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： electrode catalyst ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Electric conduction in other inorganic compounds  (BM03044O)

Reference (22)：

• 1) 山田 智, 稔野宗次, 松本泰道, 本坊寿吉, 佐藤栄一, 白樫高史, 吉原佐知雄, 電気化学 (presently Electrochemistry), 61, 1011 (1993).
• 2) 山田 智, 稔野宗次, 松本泰道, N. Indayaningsih, 本坊寿吉, 佐藤栄一, 白樫高史, 吉原佐知雄, 電気化学 (presently Electrochemistry), 62, 246 (1994).
• 3) 山田 智, 堀 茂徳, 松本泰道, 倉富純一, 本坊寿吉, 白樫高史, 吉原佐知雄, 稔野宗次, 佐藤栄一, 電気化学 (presently Electrochemistry), 63, 205 (1995).
• 4) H. Michibata, T. Namikawa, and Y. Yamazaki, Denki kagaku (presently Electrochemistry), 57, 255 (1989).
• 5) 道畑日出男, 並河 健, 山崎陽太郎, 電気化学 (presently Electrochemistry), 57, 1010 (1989).

Terms in the title (5)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  ペロブスカイト ,  薄膜 ,  作製 ,  電気伝導性