Art

J-GLOBAL ID：200902206295603142   Reference number：04A0395252

Influence of nitrogen on the structure and mechanical properties of r.f.-sputtered Cr-B-N thin films

rf-スパッタリングしたCr-B-N薄膜の組織および機械的性質に及ぼす窒素の影響

Author (3)： ZHOU M (Osaka Univ., Ibaraki, JPN) ,  NOSE M (Takaoka National Coll., Takaoka, JPN) ,  NOGI K (Osaka Univ., Ibaraki, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 183  Issue： 1  Page： 45-50  Publication year： May. 01, 2004 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *sputtered deposition ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence

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JST classification (1)： Ceramic coating to nonmetallic materials  (YC02040K)

Terms in the title (7)： RF ,  スパッタリング ,  Cr ,  薄膜 ,  組織 ,  機械的性質 ,  窒素