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J-GLOBAL ID：200902217175061348   Reference number：03A0062996

Development of Atomic Level GMM Positioning/Alignment System for Driving a Gigantic Weight Spindle. Core Technology for Advanced φ300mm Si Wafer Ultraprecision Machine Tool.

大重量主軸台の原子レベル超磁歪位置決め/アライメントシステムの開発 φ300mmSiウエハ超加工機械の中核技術

Author (6)： EDA HIROSHI (茨城大 工) ,  ZHOU L (茨城大 工) ,  KONDO RYO (茨城大 工) ,  NAKANO HIROTAMI (茨城大 工) ,  MORI TERUO (TDK) ,  SHIMIZU JUN (茨城大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 69  Issue： 1  Page： 100-104  Publication year： Jan. 05, 2003 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,...
Semi thesaurus term： magnetostriction ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Grinding  (QC03000R)

Reference (12)：

• CLARK, A. E. 超磁歪材料. 1995, 93
• EDA, H. Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Material and its Applications in Micro-actuator and Micro-sensors. Proc. Materials and Device characterization in Micromachining II, SPIE, Santa Clara. 1999, 114
• 江田弘. 大口径Φ300mmSi ウエハ用超加工機械の開発. 精密工学会誌. 2001, 67, 10, 1693
• 周立波. 大口径シリコンウエハ研削加工における幾何と運動. 精密工学会誌. 2002, 68, 1, 125
• EDA, H. Ultra Precise Machine Tool Equipped with a Giant Magnetostriction Actuator. Annals of the CIRP. 1992, 41, 1, 421-424

Terms in the title (6)： 主軸台 ,  原子 ,  超磁歪 ,  開発 ,  ウエハ ,  加工機械