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J-GLOBAL ID：200902233007916805   Reference number：05A1021580

A Practical Method for Compensating Surface Inclination Effect on Optical Stylus Profile Measurement

光触針式輪郭測定における傾斜測定誤差の補正法

Author (3)： FUKATSU HIROYA (東京都工高専) ,  MISU KIYOTAKA (日揮) ,  YANAGI KAZUHISA (長岡技科大)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 71  Issue： 5  Page： 590-594  Publication year： May. 05, 2005 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical measurement ,...
Semi thesaurus term： 光触針 ,...

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JST classification (1)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Reference (9)：

• 平林晃. 帯域通過型標本化定理を用いた白色干渉による表面凹凸形状の高速測定. 計測自動制御学会論文集. 2000, 36, 1, 16
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• YANG, Chunlan. Diffraction Analysis and Evaluation of a Focus-error Detection Scheme for an Optical Profilometer. Proc. SPIE. 2000, 4221, 180
• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103

Terms in the title (4)： 触針 ,  輪郭 ,  測定誤差 ,  補正法