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J-GLOBAL ID：200902236518572682   Reference number：03A0757578

次世代マイクロアクチュエータの加工法

Author (1)： HATTORI TADASHI (姫路工大 高度産科技研)
Material： 日本ロボット学会誌  (ロボ學)
Volume： 21  Issue： 7  Page： 748-751  Publication year： Oct. 15, 2003 
JST Material Number： Y0482A  ISSN： 0289-1824  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *microactuator ,...

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JST classification (2)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (8)：

• OHARA, J. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems MEMS2001. 2001, 76-79
• MEKARU, H. Surface Rough ness of Microstructures Fabricated by LIGA Process. Proc. of THE 19th SENSOR SYMPOSIUM 2002. 2002, 263-266
• MOHR, J. Micro optical switching by electrostatic linear actuators with large displacement. Proc. the 7th International Conference Solid-State Sensors and Actuators, 1993. 1993, 120-123
• 服部. 放射光のナノマイクロ加工技術への応用. 溶接学会誌. 2002, 71, 3, 135-144
• TABATA, O. 3D FABRICATION BY MOVING MASK DEEP X-RAY LITHOGRAPHY (M^2DXL) WITH MULTIPLE STAGES. MEMS2002. 2002, 180-183

Terms in the title (2)： 次世代 ,  マイクロアクチュエータ