Art

J-GLOBAL ID：200902238574687851   Reference number：08A1183373

Epitaxial growth of III-V nitride semiconductor films by pulse-mode hot-mesh CVD

パルスモードホットメッシュCVD法による窒化物半導体のエピタキシャル成長

Author (10)： KOMAE YASUAKI (長岡技科大) ,  SAITO TAKESHI (長岡技科大) ,  SUEMITSU MAKI (東北大 電通研) ,  ITO TAKASHI (東北大 電通研) ,  ENDO TETSURO (東北大 学際科学国際高等研究セ) ,  NAKAZAWA HIDEKI (弘前大 理工) ,  NARITA YUZURU (九州工大 工) ,  TAKATA MASASUKE (長岡技科大) ,  YASUI KANJI (長岡技科大) ,  AKAHANE TADASHI (長岡技科大)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 108  Issue： 269(CPM2008 75-88)  Page： 7-12  Publication year： Oct. 23, 2008 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *gallium nitride ,  aluminum nitride ,  Ruthenium ,  *chemical vapor deposition ,  *epitaxy ,  nitride ,  semiconductor ,  Ammonia ,  catalyst ,  organometallic compound ,  X-Ray Diffraction ,  photoluminescence ,  crystallinity ,  emission characteristic
Semi thesaurus term： CVD

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Reference (11)：

• 赤碕勇編著. III-V族窒化物半導体. 1994
• AMANO, H. Metalorganic vapor phase epitaxial growth of a high quality GaN film using an AlN buffer layer. Appl. Phys. Lett. 1986, 48, 353-355
• AKASAKI, I. Effects of ain buffer layer on crystallographic structure and on electrical and optical properties of GaN and Gal-xAlxN (0<x≦0.4) films grown on sapphire substrate by MOVPE. J. Cryst. Growth. 1989, 98, 209-219
• NAKAMURA, S. High-Power, Long-Lifetime InGaN/GaN/AlGaN-Based Laser Diodes Grown on Pure GaN Substrates. Jpn. J. Appl. Phys. 1998, 37, L309-L321
• ZHANG, B. S. OPTICAL PROPERTIES OF GaN GROWN ON Si (111) SUBSTRATES BY MOCVD. Inter. J. Modern. Phys. 2005, 19, 15/17, 2610-2615

Terms in the title (3)： CVD法 ,  窒化物半導体 ,  エピタキシャル成長