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J-GLOBAL ID：200902244049421832   Reference number：04A0281826

PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価

Author (6)： MURAKAMI SHUICHI (大阪府産業技総研) ,  INOUE KOJI (大阪府産業技総研) ,  SUZUKI YOSHIHIKO (大阪府産業技総研) ,  TAKAMATSU SHIGEO (日立造船 技研) ,  YAMASHITA KAORU (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  OKUYAMA MASANORI (大阪大 大学院基礎工学研究科)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 124  Issue： 4  Page： 143-147  Publication year： Apr. 01, 2004 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *acoustic transducer ,...
Semi thesaurus term： PZT ,...

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JST classification (2)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N) ,  Facilities management  (KB02020X)

Reference (6)：

• (1) T. Tajima, T. Nishiguchi, S. Kondo, N. Saito, S. Chiba, and A. Morita : “Mechanical properties of capacitive silicon microphone”, The Papers of Technical Meeting on Micromachine and Sensor System, IEE Japan, MSS-01-34, pp. 95-98 (2001) (in Japanese)
• 田島利文·西口敏行·近藤 悟·斎藤信雄·千葉晋一·盛田 章:「コンデンサ型シリコンマイクロフォンの機械特性」,センサ·マイクロマシン準部門総合研究会電気学会研資,MSS-01-34, pp. 95-98 (2001)
• (2) K. Inoue, Y. Suzuki, and S. Ogawa : “Fabrication of Ultrasonic sensor Using Silicon Membrane”, Technical Digest of the 12^th Sensor Symposium, pp. 31-34 (1994)
• (3) K. Ohtani, M. Okuyama, and Y. Hamakawa : “PbTiO₃ thin film ultra sonic sensor fabricated on Si wafer”, Jpn. J. Appl. Phys., suppl. 23-1, pp. 133-137 (1984)
• (4) K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi, and Y. Suzuki : “Arrayed ultrasonic microsensors with high directivity for in-air use using PZT thin film on silicon diaphragms”, Sensors and Actuators A, Phys. 97-98C, 1-3, pp. 302-307 (2002)

Terms in the title (6)： PZT ,  圧電体膜 ,  異常音 ,  マイクロセンサ ,  作製 ,  評価