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J-GLOBAL ID：200902246546548970   Reference number：08A0996357

Formation Mechanism of 100-nm-Scale Periodic Structures in Silicon Using Magnetic-Field-Assisted Anodization

磁場支援陽極酸化を用いたシリコンにおける100nmスケール周期構造の形成機構

Author (14)： HIPPO Daihei (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  HIPPO Daihei (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  NAKAMINE Yoshifumi (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  URAKAWA Kei (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  TSUCHIYA Yoshishige (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  TSUCHIYA Yoshishige (Univ. Southampton, Southampton, GBR) ,  TSUCHIYA Yoshishige (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  MIZUTA Hiroshi (Univ. Southampton, Southampton, GBR) ,  MIZUTA Hiroshi (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  MIZUTA Hiroshi (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  KOSHIDA Nobuyoshi (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  KOSHIDA Nobuyoshi (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  ODA Shunri (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  ODA Shunri (JST-SORST, Saitama, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 47  Issue： 9 Issue 1  Page： 7398-7402  Publication year： Sep. 25, 2008 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *gap ,  *periodic structure ,  *silicon ,  anodic oxidation ,  etching ,  *aspect ratio ,  morphology(form) ,  wall
Semi thesaurus term： *磁場支援陽極酸化 ,  anodic oxidation ,  *指向性エッチング ,  morphology

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (18)：

• V. Lehmann and H. Foll: J. Electrochem. Soc.137(1990)653.
• V. Lehmann: J. Electrochem. Soc.140(1993)2836.
• G. J. Parker, M. D. B. Charlton, M. E. Zoorob, J. J. Baumberg, M. C. Netti, and T. Lee: Philos. Trans. R. Soc., Ser. A 364(2006)189.
• A. Birner, R. B. Wehrspohn, U. Gösele, and K. Busch: Adv. Mater.13(2001)377.
• S. Matthias, F. Muller, C. Jamois, R. B. Wehrspohn, and U. Gösele: Adv. Mater.16(2004)2166.

Terms in the title (5)： 磁場 ,  支援 ,  陽極酸化 ,  シリコン ,  周期構造