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J-GLOBAL ID：200902248758846893   Reference number：05A0765577

Selective Polishing Using Liquid Crystalline Polymer on One-Sided Patterned Electrodes (1st Report, ER Effect of ER Slurry and its Characteristics for Polishing)

高分子液晶を用いた片側パターン電極による選択的研磨制御(第1報,ERスラリーのER効果と研磨特性)

Author (5)： KIKUCHI TAKEHITO (大阪府産業技総研) ,  FUJIWARA JUNSUKE (大阪大 大学院工学研究科) ,  FURUSHO JUNJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  KAWAMUKI RYOHEI (シャープ) ,  INOUE AKIO (ERテック)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 71  Issue： 708  Page： 2629-2634  Publication year： Aug. 25, 2005 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *liquid crystal polymer ,...
Semi thesaurus term： electrorheological fluid

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (10)：

• KURIYAGAWA, T. Electrorheological fluid-assisted ultra-precision polishing for small three-dimensional parts. Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology. 1995, 26, 370-380
• YAMAGUCHI, H. Study of the surface modification resulting from an internal magnetic abrasive finishing process. WEAR. 1999, 225-229, 246-255
• KIKUCHI, T. Polishing Using ER Slurry on One-sided Patterned Electrodes. Proceedings of the 9th Internatinal Conference on ER Fluids and MR Suspensions
• 古荘純次. ER流体を用いたメカトロニクス機器の制御. 計測と制御. 1995, 34, 9, 687-691
• 古荘純次. 解説 : ER流体を用いたメカトロニクスシステム. 日本油空圧学会誌フルイドパワーシステム. 2001, 32, 6, 390-395

Terms in the title (5)： 高分子液晶 ,  研磨 ,  Er ,  スラリー ,  研磨特性