Art

J-GLOBAL ID：200902260187035930   Reference number：03A0336555

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometry with Fiber Point Sources

光ファイバからの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発

Author (6)： OSHIKANE YASUSHI (大阪大 大学院工学研究科) ,  KATAOKA TOSHIHIKO (大阪大 大学院工学研究科) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科) ,  NOGUCHI AKIHIRO (大阪大 大学院工学研究科) ,  INOUE HARUYUKI (大阪大 大学院工学研究科) ,  NAKANO MOTOHIRO (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 69  Issue： 5  Page： 678-682  Publication year： May. 05, 2003 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical interferometry ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0336555&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (2)： Interferometry and interferometers  (BD07070G) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (13)：

• MORI, Y. Development of Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining) System for Ultraprecision Figuring and Smoothing of Aspherical Surfaces. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 207
• GOLDBERG, K. A. Progress towards λ/20 extreme ultraviolet interferometry. J. Vac. Sci. Technol. B. 1995, 13, 6, 2923
• SOMMARGREN, G. E. Phase Shifting Diffraction Iterferometry for Measuring Extreme Ultraviolet Optics. Extreme Ultraviolet Lithography. 1996, 4, 108
• TEJNIL, E. At-wavelength interferometry for extreme ultraviolet lithography. J. Vac. Sci. Technol. B. 1997, 15, 6, 2455
• SOMMARGREN, G. E. Sub-nanometer Interferometry for Aspheric Mirror Fabrication. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 329

Terms in the title (8)： 光ファイバ ,  点光源 ,  回折 ,  球面波 ,  計測 ,  位相シフト ,  光干渉計 ,  開発