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Issue： 18 Page： 175-179 Publication year： Dec. 20, 2003
JST Material Number： L4777A ISSN： 1341-9463 Document type： Article
Article type： 原著論文 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)
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GODO MASAZUMI
About GODO MASAZUMI
(新日本空調 技研)
, About 新日本空調 技研
INAGE RYOTA
About INAGE RYOTA
(新日本空調 技研)
, About 新日本空調 技研
TAKATSUKA TAKESHI
About TAKATSUKA TAKESHI
(新日本空調 技研)
, About 新日本空調 技研
MIURA KUNIO
About MIURA KUNIO
(新日本空調 技研)
, About 新日本空調 技研
TANABE SHIN'ICHI
About TANABE SHIN'ICHI
(早稲田大 理工)
About 早稲田大 理工
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日本建築学会技術報告集
(AIJ Journal of Technology and Design)
About 日本建築学会技術報告集
Issue： 18 Page： 175-179 Publication year： Dec. 20, 2003
JST Material Number： L4777A ISSN： 1341-9463 Document type： Article
Article type： 原著論文 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
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*semiconductor industry
,...
About semiconductor industry
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volatile organic compound
About volatile organic compound
JST classification (2)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Air purification
Category name(code) classified by JST.
(PC02060X)
, Manufacturing technology of solid-state devices
About Air purification
(NC03030V)
About Manufacturing technology of solid-state devices
Reference (5)：
- 服部毅. シリコンウェハ表面クリーン化技術. 2000, 37-46
- 日本空気清浄協会. クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定方法指針. 1999
- 田辺新一. 小型チャンバーADPACを用いた建材・施工材からの室内汚染化学物質放散速度の測定. 日本建築学会技術報告集. 2000, 10, 153-157
- 田辺新一. 建材からの揮発性有機化合物放散速度測定に関する研究 (その5 壁装材料を用いたチャンバー法とデシケータ法の比較). 平成13年度空気調和・衛生工学会学術講演会講演論文集, 2001. 2001, 689-692
- 鍵直樹. 建材における揮発性有機化合物の挙動からみた発生特性. 第18回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集, 2000. 2000, 34-36
Terms in the title (3)：
Terms in the title
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クリーンルーム
, About クリーンルーム
アウトガス
, About アウトガス
評価法
About 評価法
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