Art

J-GLOBAL ID：200902296375348550   Reference number：04A0709955

Electrical and optical characteristics of boron carbon nitride films synthesized by plasma-assisted chemical vapor deposition

プラズマアシスト化学気相成長法で合成した窒化ほう素炭素膜の電気的,光学的性質

Author (3)： YUKI T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  UMEDA S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SUGINO T (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 13  Issue： 4/8  Page： 1130-1134  Publication year： Apr. 2004 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma CVD ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0709955&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W0498A") }}

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (6)： プラズマ ,  アシスト ,  化学気相成長法 ,  窒化ほう素 ,  炭素膜 ,  光学的性質