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J-GLOBAL ID：200903000444575250

レジスト用共重合体およびその製造方法、ならびにレジスト組成物

Inventor：
百瀬 陽

About 百瀬 陽

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若林 茂夫

About 若林 茂夫

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上田 昭史

About 上田 昭史

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藤原 匡之

About 藤原 匡之


Applicant, Patent owner：
三菱レイヨン株式会社

About 三菱レイヨン株式会社


Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002340817
Publication number (International publication number)：2003246825
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Sep. 05, 2003
Summary：
【要約】【課題】 高い感度、解像度が損なわれることなく、レジスト溶剤への溶解性、レジスト溶液中でのマイクロゲル生成の抑制、レジストパターン側壁の平坦性に優れたレジスト用共重合体を提供する。【解決手段】 脂環式骨格を有する単量体単位(A)、ラクトン骨格を有する単量体単位(B)、およびこれらの単量体単位と共重合可能な他のビニル系単量体単位(C)よりなる群から選ばれた少なくとも2種類以上の単量体単位を含むレジスト用共重合体であって、各々の単量体単位の3連子の割合が共重合体中それぞれ15モル%未満であることを特徴とするレジスト用共重合体;およびその製造方法;ならびにその共重合体を含むレジスト組成物。
Claim (excerpt)：
脂環式骨格を有する単量体単位(A)、ラクトン骨格を有する単量体単位(B)、およびこれらの単量体単位と共重合可能な他のビニル系単量体単位(C)よりなる群から選ばれた少なくとも2種類以上の単量体単位を含むレジスト用共重合体であって、各々の単量体単位の3連子の割合が共重合体中それぞれ15モル%未満であることを特徴とするレジスト用共重合体。
IPC (4)：
C08F220/18 ,  C08F 2/06 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/039 601
FI (4)：
C08F220/18 ,  C08F 2/06 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/039 601
F-Term (39)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC03 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J011HA03 ,  4J011HB06 ,  4J011HB14 ,  4J100AB02R ,  4J100AJ02R ,  4J100AJ09R ,  4J100AK32R ,  4J100AL02R ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AM02R ,  4J100AM15R ,  4J100BA05 ,  4J100BA11 ,  4J100BC04 ,  4J100BC09 ,  4J100BC12 ,  4J100BC37 ,  4J100BC53 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (6)
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