マルチプローブ及び走査型プローブ顕微鏡

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999070925
Publication number (International publication number)：2000266658
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】カンチレバーの切替が簡単なマルチプローブ及び走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】本体2上に複数のカンチレバー3、4、5を設け、カンチレバー3、4、5の各共振周波数f3、f4、f5を相互に異ならせると共に、カンチレバー3、4、5の各試料接触部分である探針D3、D4、D5を直線Lに沿って略直線状配置とした。加振振動周波数をいずれかの共振周波数に一致させることにより、所要のカンチレバーのみを測定に寄与させることができる。

Claim (excerpt)：

同一本体上に複数のカンチレバーを設けて成り走査型プローブ顕微鏡の走査プローブとして用いられるマルチプローブにおいて、前記複数のカンチレバーの各共振周波数を相互に異ならせると共に、前記複数のカンチレバーの各試料接触部分が略直線状配置となっていることを特徴とするマルチプローブ。

IPC (2)：

G01N 13/16 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z

F-Term (20)：

2F069AA54 , 2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069DD01 , 2F069DD08 , 2F069DD25 , 2F069GG01 , 2F069GG06 , 2F069GG35 , 2F069GG56 , 2F069GG60 , 2F069GG65 , 2F069HH04 , 2F069JJ04 , 2F069JJ25 , 2F069LL03 , 2F069MM04 , 2F069MM11 , 2F069MM23 , 2F069MM32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

光記録装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-241438 Applicant：セイコー電子工業株式会社
マルチプローブヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-173331 Applicant：キヤノン株式会社
走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-172606 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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